8 (800) 333-45-07
Звонок по России бесплатный

Оборудование для микроэлектроники

картинка СВЧ плазма Q240 от магазина Одежда+
(0)
0 руб.
шт

Особенности:

В установке Q240 исполбзуется процесс СВЧ плазмы низкого давления, что позволяет достич преимущества в концентрации свободных химических радикалов и высокой плотности плазмы. Частицы СВЧ плазмы имеют низкую кинетическую энергию, что препятствует внесению загрязнений частицами и индуцированному нагреву.

Принцип использования СВЧ плазмы:
 

  • Эффективная микроволновая плазменная очистка.
  • Меленький след.
  • 2,45 ГГц
  • СВЧ мощность регулируется в пределах от 50 до 1200 Вт.
  • Стандартные ругуляторы расхода: 3 шт. (максимум 6 шт.)
  • Автоматическое и ручное управление.
  • Травление подложек размером до 8 дюймов.
  • Дополнительный SU8 комплект с водяным охлаждением.
  • Дополнительный источник питания 13,56 МГц.
  • Загрузка: 50 пластин.

Применение:

  • Обработка фоторезиста.
  • Изотропное плазменное травление низкого повреждения.
  • Подготовка поверхности.
  • Сухое травление.

 

Наличие на складах


  • Склад
    график работы: Пн.-Пт. с 10:00 до 18:00, Сб.-Вс. выходной
    остаток: 0