Установка скрайбирования, фиксация пластин с помощью вакуума, размер пластин–до 200 мм, возможность фиксации в 4 положениях (поворот на 90 град.)
Точная регулировка угла с помощью микрометрического винта, мин.разрешение 0,006 град., макс.диапазон: по оси Х ~4°. Максимальная ширина подложки >/= 240мм, макс. толщина подложки >/= 10 мм.
Регулируемое положение касания / подъема.
Диапазон давления скрайбирования путем использования противовесов.
Возможность регулировки угла скрайбирования.
Установка оснащена микроскопом 25х увеличения, с подсветкой.